中心簡介 / 組織

儀器發展組 > 真空小組

真空組在國家同步輻射研究中心創立之初即研究設計、建造第三代同步加速器1.5 GeV台灣光子源(TLS)超高真空系統,建立了包括無塵室、化學清洗室、高溫真空烘烤爐、鋁合金銲接室等設備。自1984年至今,已自行設計並由國內廠商製造完成傳輸線與電子儲存環等大型無油超高真空系統。於1993年TLS正式運轉後,本組即開始設計建造包括BL17(W20)、BL19(XRL)、BL09(U5)、BL21(U9)及BL03(HF)等光束線、插件磁鐵鋁合金真空腔開發製造、以及新前端區等真空系統建造安裝。2000年起開發超導增頻磁鐵(SW)鋁合金真空腔製造及高功率前端區光吸收器、XBPM等製造。

2004年起規劃設計建造3.0 GeV台灣光子源(TPS)真空系統與前端區, 完全由國內建造之大型鋁製合金二極真空腔, 其製程為酒精加工以達到超高真空的要求, 全長518米之儲存環及增能環及七座前端區並已在2015年完成試車並在2016年開放使用

真空組研究主題包括:

  1. 真空技術之提升: 極高真空系統之研發。
  2. 鋁合金真空材料銲接技術之提昇。
  3. 真空材料表面水釋氣研究。
  4. 真空腔輝光放電清洗研究。
  5. 光子引發表面釋氣研究。
  6. 異質金屬接合研發。
  7. 高熱載吸收器之研發。
  8. NEG coating 系統研發。
Vacuum technology NEG coating
真空技術_NEG coating
真空技術_CrZrCu真空系統開發
真空技術_超高真空元件清洗
真空技術_高熱載吸收器製造
量測技術_熱釋氣率量測
量測技術_光子引發釋氣率量測
研發與建造成果_前端區真空系統
研發與建造成果_前端區真空系統Beam Position Monitor 元件設計製造
研發與建造成果_前端區連鎖控制系統
研發與建造成果_脈衝磁鐵真空系統建造
中文名字工作職掌Email
張進春*
  • 鋁合金超高真空腔製造銲接
  • 鋁合金材料微結構分析
  • TPS直段與彎段鋁合金真空腔加工製造銲接
  • EPU插件磁鐵鋁合金真空腔製造
聯絡窗口
chinchun@nsrrc.org.tw
莊俊彥
  • TPS前端區真空系統組裝與真空測試
  • TPS前端區多軸機構設計製造、控制與測試
  • TPS前端區連鎖控制系統測試
楊易晨
  • TPS/TLS真空監控與機電系統製造
  • TPS真空系統安裝測試
  • TLS儲存環真空系統運轉維護
詹哲鎧
  • 真空系統氣壓模擬計算
  • 超高真空系統設計
  • 儲存環真空系統系統建造維護
鄭家沐
  • 19B(PSD)光束線經理
  • TPS增能環真空系統設計製造及運轉維護
  • 真空幫浦/真空計/殘留氣體分析儀性能測試
  • 前端區真空系統運轉與維護
薛秦
  • 前端區真空系統設計建造與運轉維護
  • 高功率熱負載元件及光吸收器設計
  • NEG鍍膜技術
鄭宇尊
  • TPS前端區真空系統組裝與真空測試
  • TPS高功率熱負載元件及光吸收器製造測試
陳俊榮
  • TPS加速器工程建造
熊高鈺
  • 超高真空系統設計建造與測試
  • TPS真空系統建造計畫
  • 極高真空系統腔體表面清洗處理研究與釋氣分析
葉松德
  • 研發替代役
  • 真空材料熱釋氣量測
* 為主管