(微系統技術專案 許博淵 博士 ext.7316, e-mail: yuan@nsrrc.org.tw)
以X光微加工技術為基礎的LIGA技術(光刻，電鑄，模造)，可提供次微米精度、次微米解析度與超高深寬比(>30)的微加工能力，可廣泛應用在微光學、微波、微流體或微機械元件。
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LIGA 纖維紡口
(1). LIGA 纖維紡口, (2). NiCo異型噴嘴 (70 um wide, 2000 um deep, aspect ratio :30), (3). NiCo複合噴嘴, (4). 黃圈範圍內為經LIGA異型噴嘴所抽出之超細纖維，其形狀與尺寸均勻性極
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柱型凹面微分光儀
(1). 柱型凹面微分光儀示意圖, (2). 柱型凹面微分光光柵 (min. 1 um wide, 125 um deep, max. AR: 125), (3). 光柵SEM影像
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3D微加工技術
自行研發的浸潤掃描式微影技術，可快速實現大面積的3D光學微結構: (1) 雙視野微光學菱鏡 (60 um pitch, 50 um deep), (2). 金字塔Pyramide光學微結構, (3). 亂數佈點高階導光板微結構